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公司）是国内首创专业从事它激式高频等离子电源（射频电源、晶控膜厚监控仪、低温等离子电源、RF电源）的企业。始建于1976年。是研制射频电源、高频、射频等离子电源、直流溅射电源、负脉冲电源、膜厚监控仪及相关电子行业的研发、制造、销售的企业。产品广泛应用于真空室内等离子体改性、聚合、分析、PCVD、气相沉积、磁控溅射度膜、等离子体表面处理、和低温等离子医疗消毒灭菌等科研及工业领域。主要面向国内各大学、院校、科研所、真空镀膜、光伏、医疗、及光电子高科技等企业。
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